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    单碟式真空传输系统（loadlock）
    该设备是兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接，通过机械手在传输室和工艺室内传输产品，可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程，提高系统效率。